语言
随着IC制造向更小特征线宽尺寸和更薄外延层的发展，集成电路器件对于外延片的质量要求不断增加，先进逻辑和存储工艺的推进，开辟出更多外延工艺的应用场景，也对外延系统的功能和外延性能提出了更高的要求。
Epi RP 300 Compass HP
Epi RP 300 Compass HP是一款针对先进逻辑代工与存储，以及功率器件中的外延工艺应用需求的减压外延设备，具有先进的红外加热控制技术和加热模块设计，可实现温度的快速升降和温度场的精确控制，使系统具备优异的工艺重复性和设备稳定性，从而获得良好的厚度均匀性、电阻率均匀性，零滑移线和低缺陷密度的外延层生长。可满足工艺均匀性控制、低晶体缺陷、低掺杂和颗粒密度可控性强的要求。
Epi ATM 300 Compass HP
Epi ATM 300 Compass HP是一款针对外延片、MEMS和功率器件，如IGBT的生产制造，而设计的常压外延设备。该设备为我公司自主研发，拥有自主知识产权的设备，配备了先进的进气模块，拥有极致的沉积速率。
我们不仅提供高稳定性、高产出的工艺机台以及备品备件和售后服务，同时可提供相关的工艺解决方案。
